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ITO 靶材
Indium Tin
Oxide Target

ITO靶材以磁控濺射等方式用于導(dǎo)電玻璃的制備. ITO鍍膜具有導(dǎo)電性、對可見光的透明性以及對紅外線的反射性三個特性,其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達(dá)屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產(chǎn)品,尤以顯示屏為大宗。

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ITO旋轉(zhuǎn)靶材 & ITO平面靶材

恒博通過獨立自主的研發(fā),在與上下游廠商合作中,為ITO靶材國產(chǎn)化進(jìn)程做出了應(yīng)有的責(zé)任.

ITO 旋轉(zhuǎn)靶材

恒博具備燒結(jié)成型1000mm長度旋轉(zhuǎn)靶材能力,這項技術(shù)的突破,使得恒博在市場競爭中具備良好的相對優(yōu)勢。

ITO 平面靶材

恒博雙拼平面靶材(1325mm長)能夠滿足客戶以及市場需求的大尺寸、高密度、高焊合率特性。

獨立原材料生產(chǎn)線

擁有一條完整的獨立ITO原材料粉體制備生產(chǎn)線可以使恒博嚴(yán)格控制原材料產(chǎn)品質(zhì)量。經(jīng)過二次開發(fā)的全新粉體制備方法使恒博的ITO原材料粉體具有高純度以及高均勻性的特質(zhì).

純度 ≥99.99%

一套完整的質(zhì)量檢測體系是保障產(chǎn)品質(zhì)量及穩(wěn)定性的重要環(huán)節(jié)。恒博在此項的投入完全按照行業(yè)檢測標(biāo)準(zhǔn)而購進(jìn)檢測設(shè)備。獨立的檢測管理體系使得恒博可以及時發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品問題并解決,這不僅保障了客戶的權(quán)益,同樣大大加快了生產(chǎn)周期.

IGZO靶材、AZO靶材、氧化鋁靶材、氧化鋯靶材

恒博已成功研發(fā)出下一代ITO優(yōu)化替代產(chǎn)品以及產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)配套靶材,并同時在更多靶材領(lǐng)域投入研發(fā)

獨立檢測體系

ITO的成品質(zhì)檢需經(jīng)過7項檢測。分別為產(chǎn)品批號、產(chǎn)品外觀、產(chǎn)品尺寸、強度寬度、純度以及電導(dǎo)率。檢驗設(shè)備將會涉及密度測量天平、等離子體質(zhì)譜儀、全譜直讀等離子體發(fā)射光譜儀、X射線衍射儀、掃描電鏡等.

二十三年積累的大規(guī)模生產(chǎn)高純氧化物材料的技術(shù)及管理經(jīng)驗

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  • ITO靶材參數(shù)
  • 供貨標(biāo)準(zhǔn)

恒博公司已建成2條ITO靶材生產(chǎn)線,包括從粉體生產(chǎn)、成型、燒結(jié)、加工、Bonding以及廢靶回收的完整產(chǎn)品線。


恒博已成功研發(fā)ITO雙拼平面靶材,并且得到國內(nèi)知名使用廠商的實際上機(jī)測試,靶材單塊長度可達(dá)1325mm。


我們可以根據(jù)您的特殊需求,定制不同的靶材尺寸產(chǎn)品。


ITO靶材以磁控濺射等方式用于導(dǎo)電玻璃的制備. ITO鍍膜具有導(dǎo)電性、對可見光的透明性以及對紅外線的反射性三個特性。其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽能電池、雷達(dá)屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產(chǎn)品,尤以顯示屏為大宗。

認(rèn)證:通過G8.5、G8.6、G10.5認(rèn)證,并已成為國內(nèi)知名TFT面板廠商供應(yīng)商


平面靶材產(chǎn)能:10噸/月


旋轉(zhuǎn)靶材產(chǎn)能:10噸/月


可訂制尺寸以滿足客戶生產(chǎn)工藝

性能
Properties
單位
unit
標(biāo)準(zhǔn)值
Standard Value
類型
Types
wt% In2O3:SnO2=90:10
In2O3:SnO2=93:7
In2O3:SnO2=95:5
In2O3:SnO2=97:3
In2O3:SnO2=98:2
In2O3:SnO2=99:1
單塊平面靶最大規(guī)格
Max Size of single Plane ITO
mm 1325x400x(6.2-12)
單塊旋轉(zhuǎn)靶最大規(guī)格
Max Size of single Plane ITO
mm Φ135XΦ153~159X1000
相對密度
Relative Density
/ ≥99.8%
體積電阻率
Volume Resistivity
Ω·cm 1.35x10-4
抗彎強度
Bending Strength
Mpa ≥150
純度
Purity
/ ≥99.99%
失氧率
Oxygen Loss Rate
/ ≤0.5%
 
雜質(zhì)元素
Impurity contents
含量
(ppm)
Si <10
 Fe <10
Ca <10
Na <10
Cu <10
Cr <5
Ni <10

供貨標(biāo)準(zhǔn)表
標(biāo)準(zhǔn) 平面ITO靶材 旋轉(zhuǎn)ITO靶材
密度 ≥7.142 ≥7.142
純度 ≥99.99% ≥99.99%
功率密度 ≥6W/cm2 ≥5.4W/cm2
焊合率 ≥98% ≥98%
尺寸 按圖紙標(biāo)準(zhǔn)

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